一、工作原理
主要由探針系統(tǒng)、顯微鏡系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。其中,探針系統(tǒng)是核心部分,它由探針、針頭和底座等組成。通過手動(dòng)操作來控制探針與樣品之間的接觸和測(cè)量。在顯微鏡系統(tǒng)的幫助下,操作者可以通過觀察樣品表面的形貌和特征來確定探針的位置和移動(dòng)范圍??刂葡到y(tǒng)則用于準(zhǔn)確控制探針的移動(dòng)和測(cè)量過程。
二、特點(diǎn)
手動(dòng)操作:通過手動(dòng)操作來控制探針與樣品之間的接觸和測(cè)量,因此對(duì)于操作者的技能和經(jīng)驗(yàn)有一定的要求。
高精度:控制系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)探針的準(zhǔn)確控制,從而獲得高精度的測(cè)量結(jié)果。
穩(wěn)定性好:由于手動(dòng)探針臺(tái)的控制系統(tǒng)具有較好的穩(wěn)定性,因此可以獲得較為可靠的測(cè)量結(jié)果。
易于維護(hù):維護(hù)工作量較小,使用方便。
三、應(yīng)用范圍
微電子學(xué):在微電子行業(yè)中,需要對(duì)半導(dǎo)體器件和集成電路進(jìn)行準(zhǔn)確的形貌觀察和測(cè)量,以評(píng)估其性能和質(zhì)量??梢杂糜谶@些方面的測(cè)量和觀察。
材料科學(xué):在材料科學(xué)領(lǐng)域,需要對(duì)材料的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察和測(cè)量,以研究其性能和特點(diǎn)。可以用于這些方面的測(cè)量和觀察。
生物學(xué):在生物學(xué)領(lǐng)域,需要對(duì)細(xì)胞和微生物的形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察和測(cè)量,以研究其生長(zhǎng)和繁殖過程??梢杂糜谶@些方面的測(cè)量和觀察。
雖然手動(dòng)探針臺(tái)在微觀形貌觀察和測(cè)量領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,但其測(cè)量精度和效率仍有一定的限制。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用需求的提高,它將會(huì)逐漸被自動(dòng)化和智能化的測(cè)量設(shè)備所取代。因此,未來手動(dòng)探針臺(tái)將會(huì)逐漸向自動(dòng)化和智能化方向發(fā)展,以提高其測(cè)量精度和效率,并適應(yīng)更多的應(yīng)用場(chǎng)景。