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簡(jiǎn)要描述:全自動(dòng)芯片挑片分選機(jī) WBS-300特點(diǎn):多功能全自動(dòng)挑片系統(tǒng),支持各類(lèi)挑片方式視覺(jué)定位系統(tǒng),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng):分揀精度高,速度快AOI檢查系統(tǒng),挑片過(guò)程中檢查芯片外觀,自動(dòng)識(shí)別形貌Bond Force Control支持對(duì)三五族,MEMS以及具備空氣橋結(jié)構(gòu)芯片的挑選,支持MPW提供設(shè)備功能、治具定制及服務(wù)
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一、全自動(dòng)芯片挑片分選機(jī)的功能:
(1)挑片應(yīng)用:wafer to tray
(2)自動(dòng)上下料,設(shè)備按照輸入的Mapping圖及AOI檢查判定產(chǎn)品,自動(dòng)分揀芯片
二、全自動(dòng)芯片挑片分選機(jī)的特點(diǎn):
(1)全自動(dòng)系統(tǒng)、視覺(jué)定位系統(tǒng),直線電機(jī)驅(qū)動(dòng):分揀精度高,速度快
(2)AOI檢查系統(tǒng),挑片過(guò)程中檢查芯片外觀,自動(dòng)識(shí)別形貌
(3)Bond Force Control
(4)支持對(duì)三五族,MEMS以及具備空氣橋結(jié)構(gòu)芯片的挑選,支持MPW
(5)提供設(shè)備功能、治具定制及服務(wù)
三、Options:
(1)2-step sorting:雙分揀裝置,分步挑片
(2)Air Ejector:對(duì)應(yīng)超薄產(chǎn)品,芯片厚度≥20μm
(3)RCID識(shí)別功能
項(xiàng)目
| 規(guī)格參數(shù) |
wafer尺寸
| 4、6、8inch Option:12inch
|
芯片尺寸 | 0.5x0.5mm~20x20mm Option:0.3x0.3mm
|
芯片厚度 | ≥100μm Option:≥20μm
|
放置精度 | ≤ ±0.05mm/≤ ±0.5° Option:≤ ±0.025mm
|
分揀速度 | ≤ 1.8s/chip at 2x2mm Die
|
放置區(qū)容量 | 4、6、8inch Option:12inch
|
設(shè)備尺寸 | 1800(W)x1000(D)x1650(H) mm
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